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 来源: 院办

2015-04-30

发布时间:

半导体元器件射频参数提取和建模平台及射频/微波/模拟集成电路裸片在线测试平台

半导体元器件射频参数提取和建模平台及射频/微波/模拟集成电路裸片在线测试平台目前拥有12Cascade探针台系统和半导体器件建模系统,平台可对6寸、8寸及12寸等晶圆进行半自动测试,以进行半导体元器件射频参数的提取及建模工作。拥有超强的校准技术及负载电感补偿技术,结合独有的MicroChamberAttoGuard专利技术,使DC/CV测试精度可达1fA/1fFRF测试可在10 M~40 GHz的范围提供高精度测试结果。同时,平台配备有Agilent矢量网络分析仪(PNA)、噪声系数分析仪(NFA)、微波毫米波信号源(PSG)、频谱分析仪(PSA)、高性能数字示波器(Infiniium DSO)、阻抗分析仪等高端微波/毫米波测试设备,工作频率达40 GHz。可准确、稳定、快速的对各种微波毫米波芯片、器件、组件和系统进行各类高精度、高可靠性的微波毫米波测量,完全满足目前各种军品及民品的测试要求。

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一、平台测试能力

平台支持常规无源器件、组件(晶体管、场效应管、滤波器等)及有源单元电路(低噪放,功放,振荡器等)的测试,主要测试能力如下:

l  直流IV测量:0 V ~ ± 100 V± 100 fA ~± 100 mA,功耗限制2W

l  CV测量;

l  线性S参数测量,10M~40 GHz

l  噪声系数测量:直接测试至26.5 GHz,变频测试至40 GHz

l  信号分析及频谱测量(至42.98 GHz)。

二、平台主要测试设备

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三、测试服务

本平台可面向校内外提供测试服务。

测试联系人:付老师

联系方式:13730861569